在干燥部分，使用黑色標(biāo)準(zhǔn)溫度計(jì)或黑板溫度計(jì)測(cè)量模板的表面溫度。

如果使用黑色標(biāo)準(zhǔn)溫度計(jì)，則應(yīng)由厚度約為0.5毫米的非角鋼板組成，其典型長(zhǎng)寬尺寸為70毫米×70毫米；40毫米.面向輻射源的面板應(yīng)涂有涂層，該涂層能夠吸收波長(zhǎng)高達(dá)2500納米的90%~95%的人體輻射能量。涂層具有良好的耐人才性。鉑電阻溫度傳感器連接到輻射源板的中心，輻射源板與輻射源板具有良好的熱接觸。厚度為5毫米且無(wú)實(shí)際填充物的聚偏二氟乙烯襯板連接到面對(duì)輻射源的板面上，并且在聚偏二氟乙烯回路中設(shè)置足夠小的空間來(lái)放置鉑電阻傳感器。傳感器凹槽邊緣與聚偏氟乙烯板之間的距離約為1毫米。聚偏氟乙烯板的長(zhǎng)度和寬度應(yīng)足夠大，以確保黑色標(biāo)準(zhǔn)溫度計(jì)金屬板與其安裝支架之間沒(méi)有金屬對(duì)金屬的熱接觸。支架的金屬部分距離黑色標(biāo)準(zhǔn)溫度計(jì)的邊緣至少4毫米?？梢允褂貌煌Y(jié)構(gòu)的黑色標(biāo)準(zhǔn)溫度計(jì)，前提是在曝光設(shè)備能夠達(dá)到的所有穩(wěn)定溫度和輻照度設(shè)置條件下，鐵溫度計(jì)被改變?yōu)榕c指定結(jié)構(gòu)的溫度計(jì)指示的溫度相關(guān)；1℃以內(nèi)。此外，改變結(jié)構(gòu)的黑色標(biāo)準(zhǔn)溫度計(jì)在指定結(jié)構(gòu)的黑色標(biāo)準(zhǔn)溫度計(jì)達(dá)到穩(wěn)定狀態(tài)所需時(shí)間偏差的10%以內(nèi)。

如果氙燈耐候性測(cè)試箱中使用黑板溫度計(jì)，它也應(yīng)由耐腐蝕金屬板制成。典型尺寸為150毫米長(zhǎng)、70毫米寬和1毫米厚。面臨淘汰的面板涂有黑色抗老化涂層。涂層應(yīng)能在2500納米內(nèi)吸收至少90%~95%的輻射。棒狀鉑熱電偶固定在面向輻射源的面板中心。金屬板的背面應(yīng)該暴露在盒子內(nèi)部的空氣中。

如果氙燈防風(fēng)雨試驗(yàn)箱的黑色表面有任何變化，請(qǐng)參考設(shè)備制造商的說(shuō)明。

注1:黑色標(biāo)準(zhǔn)溫度計(jì)和平板溫度計(jì)的區(qū)別在于前者固定在絕熱支架上。測(cè)量的溫度相當(dāng)于在低熱導(dǎo)率基底上涂有黑色或深色涂層的暴露模板表面的溫度，淺色涂層模板的暴露表面的溫度通常較低。

注2:測(cè)試模板的溫度取決于許多因素，包括吸收的輻射總量、發(fā)射的輻射總量、模板的熱導(dǎo)率、模板和空氣之間的熱導(dǎo)率以及模板和模板框架之間的熱導(dǎo)率。因此，模板的表面溫度無(wú)法預(yù)測(cè)。

注3:在典型的曝光試驗(yàn)條件下(非高輻照度試驗(yàn))，黑色標(biāo)準(zhǔn)溫度計(jì)測(cè)得的溫度比黑板溫度計(jì)測(cè)得的溫度高約5℃。在高輻照度試驗(yàn)條件下，兩者之間的溫差會(huì)增大。

注4:黑色標(biāo)準(zhǔn)溫度計(jì)也稱為絕熱黑板溫度計(jì)。黑板溫度計(jì)也稱為非絕熱黑板溫度計(jì)。

為了在曝光過(guò)程中測(cè)量模板表面的溫度范圍并更好地控制設(shè)備的曝光條件，除了黑色標(biāo)準(zhǔn)溫度計(jì)或黑板溫度計(jì)之外，還建議使用類似于黑色標(biāo)準(zhǔn)或黑板溫度計(jì)設(shè)計(jì)的白色標(biāo)準(zhǔn)溫度計(jì)或白板溫度計(jì)。為此，使用抗老化白色涂層，其反射波長(zhǎng)為300納米至1000納米的至少90%的輻射和波長(zhǎng)為1000納米至200納米的至少60%的輻射。

北京宏大天矩測(cè)試設(shè)備有限:hoda17